浙江辖区上市公司2019年投资者集体接待日活动11月5日下午在浙江杭州举办,三美股份(603379)董事会秘书林卫在本次活动上表示,森田新材料是公司持股50%的参股公司,目前在建2万吨/年蚀刻级氢氟酸项目,产品可用于集成电路芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,目前项目的部分配套工程开始试运行,主体工程进行设备调试,试生产预计在年底左右,项目按原计划进行。
据公开资料报道,浙江森田新材料有限公司的微电子蚀刻材料项目总占地约8万平方米,分两期建设。全部投产后,预计年销售额20亿元。其中一期项目引进日本的精馏审核提纯合成设备,采用最先进的日本森田化学工业株式会社的提纯技术,制作半导体所需的超高纯清洗与蚀刻用电子材料。一期项目建成后形成2万吨/年蚀刻及清洗级氢氟酸,2.2万吨/年BOE(氟化铵)的生产能力,项目用地约5.91万平方米,投资额5000万美元,项目达产后预期新增产值5.9亿元。
此外,今年8月森田化学社长森田康夫接受媒体采访时也曾表示,2019年内将在中国浙江省的工厂启动高纯度氟化氢生产,今后将向三星等韩国半导体制造企业供应在中国工厂生产的高纯度氟化氢。